| 產品規格︰ | 目前國內供半導體生產用的石英玻璃產品，就其純度而言，大體分為兩個品種，一個是以天然水晶為原料熔制而成的產品，它的雜誌含量（指Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Ni、Cu、Co、Mn、B、K、Na、Li等十三種雜誌元素的總和）一般均在50ppm以下，另一種是用高純合成原料（如SiCl4等）經高溫水解熔制而成的產品，它的化學純度很高，十三個雜質元素的總含量一般均不超過2ppm，但它的價格昂貴，最大的缺點是軟化點較水晶制品低80度左右，用它製造的坩堝和擴散管在使用過程中容易變形。為了滿足半導體工業對石英玻璃產品質量的需要，充分利用水晶制品成本低，軟化點高，和合成石英純度高的特點，我們研製成功了〈高純合成石英塗層石英玻璃產品〉，它是在水晶制石英玻璃的內壁用高溫噴塗的工藝方法，塗上一層高純合成石英玻璃。如此制得的產品同時具有兩種石英玻璃產品的優點。 |
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