| 产品规格︰ | 目前国内供半导体生产用的石英玻璃产品，就其纯度而言，大体分为两个品种，一个是以天然水晶为原料熔制而成的产品，它的杂志含量（指Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Ni、Cu、Co、Mn、B、K、Na、Li等十三种杂志元素的总和）一般均在50ppm以下，另一种是用高纯合成原料（如SiCl4等）经高温水解熔制而成的产品，它的化学纯度很高，十三个杂质元素的总含量一般均不超过2ppm，但它的价格昂贵，最大的缺点是软化点较水晶制品低80度左右，用它制造的坩埚和扩散管在使用过程中容易变形。为了满足半导体工业对石英玻璃产品质量的需要，充分利用水晶制品成本低，软化点高，和合成石英纯度高的特点，我们研制成功了〈高纯合成石英涂层石英玻璃产品〉，它是在水晶制石英玻璃的内壁用高温喷涂的工艺方法，涂上一层高纯合成石英玻璃。如此制得的产品同时具有两种石英玻璃产品的优点。 |
|
|
|
